在齐鲁智能微系统创新产业基地，一家仅成立两年、注册资本500万元的小微企业——宇鸿敏芯（山东）电子科技有限公司（简称宇鸿敏芯），凭借在高端传感器芯（片）体技术研发领域的深耕，成功打破了国外在高端传感器领域的长期垄断。

3月24日，记者走进宇鸿敏芯的展厅，一枚直径不足1厘米的溅射金属基高精纳米膜芯体静静陈列着。这件物件虽小，但它是压力传感器的核心，能让传感器在高温、高压、高尘、潮湿等极端环境下，稳定性和可靠性大幅提升。

“我们采用国际领先的MEMS加工工艺，将纳米薄膜应变电阻直接集成在金属弹性体表面，让敏感元件与弹性体的原子级结合。”宇鸿敏芯总工程师崔雪岩说，由他们自主研发的溅射薄膜压力传感器芯体，不仅率先填补了国内空白，相关参数在国际同类产品中还处于领先地位。其最高测量量程达380兆帕，是传统压力传感器量程的数倍；年漂移精度仅为千分之一，远优于其他产品。在-50℃至300℃的极端温度区间，精度波动小于0.1%；承受3800倍大气压冲击后，信号输出依然稳定。凭借这些卓越指标，宇鸿敏芯使国产传感器顺利入选卫星推进器供应商名录。

在宇鸿敏芯研发部主任罗静怡看来，企业仅成立两年，便取得这样的傲人成绩，离不开背后强大的研发团队。近两年来，宇鸿敏芯在科技研发方面加大投入，在设备研发上，参与研发并改进了全自动步进式紫外光刻机等仪器，还与知名高校共建联合实验室。研发团队研究生占比达50%，并聘请了多位半导体领域的国家级专家担任技术顾问。产学研的深度合作，不断突破技术瓶颈，增强了宇鸿敏芯在溅射薄膜工艺领域的竞争力。

目前，宇鸿敏芯已建成千、百级净化车间，拥有多条生产线，具备年产30万枚芯（片）体、10万支压力传感器的生产能力。公司已配备近200台套研发及工艺设备，构建起较为完备的力学传感器设计研发技术平台，拥有20多项自主知识产权。

聚焦未来，宇鸿敏芯计划实现年产100万支芯体、30万支传感器的产能目标，并向汽车电子、医疗电子、通讯电子领域拓展。公司还将依托国内国际双循环战略，推动“中国技术+中国标准”深度参与全球竞争，主导国际标准制定。

此外，记者采访中了解到，宇鸿敏芯两年前之所以选择入驻齐鲁智能微系统创新产业基地，正是看中了淄博高新区这一科技产业园区打造的“一公里生态圈”带来的聚变效应。该产业园区内从特种合金材料到微米加工，上下游数十家企业紧密协作，在帮助企业快速改良产品结构的同时，不仅加速了产品技术的更新，还有效降低了生产研发成本，为企业发展提供了广阔空间。

（大众新闻·鲁中晨报记者张培 通讯员刘晓 汤丽雅）